S1800系列光刻膠

shipley s1813光刻膠

產品介紹：

S1800系列， 正膠、紫外光刻膠。

光源推薦：g-Line，也可以用于寬譜。

單層厚度：0.4-2.7um。

型號：

S1805 G2/S1813 G2/S1818 G2

應用：

應用于濕法腐蝕和干法刻蝕，也與底層膠LOR搭配，做lift-off 工藝。

特性：

● 通過ZXJ的物理、化學和功能測試，保證批次與批次之間的一致性

● 絕對過濾精度0.2um，雜質少

● 不含醋酸纖維素和二甲苯

● 高分辨

● 粘附性好

● 涂膠厚度均勻

● 多種標準粘度可用于單層加工

● 可適用于無金屬離子的(MIF)顯影液和含金屬離子的顯影液(MIC)

● 易去膠

S1800系列配套顯影液

shipley s1813光刻膠

型號：

MICROPOSITR MF-319 DEVELOPER

主要成分：

水 ＞95% CAS 7732-18-5

表面活性劑 ＜1%

四甲基氫氧化銨 2.2% CAS 75-59-2

原理與使用方法：

MF-319顯影液專門用于高分辨率半導體器件。它是S1400®和S1800®系列光刻膠的專用無金屬離子的顯影液。雖然MF-319顯影液可以用于浸泡顯影、旋噴顯影，但較好的顯影方式是噴霧式或者puddle式顯影。

儲存:

存儲在干燥區域，溫度范圍為50°-90°F（10°-32°C）。

遠離酸、陽光、熱源和火源。

放入密封的貯藏器。